真空镀膜机工作原理主要是指一类需要在较高真空度下进行的镀膜的机器，具体其中包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种，但真空镀膜机很复杂，今天我们分析一下他们的组成，还有主体以用户辅助系统。

    一、真空镀膜机组成

 

    今天我们介绍真空镀膜机高真空镀膜机各部分的组成及工作原理。高真空镀膜机，镀膜机是目前制作真空条件应用最为广泛的设备。其相关组成及各部件：机械泵、油扩散泵、增压泵、冷凝泵、真空测量系统等。

 

    二、真空镀膜机主体—真空腔

 

    根据加工产品要求的各异，真空镀膜机的主体—真空腔大小也不一样，目前应用最多的有直径1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等，腔体由不锈钢材料制作，要求不生锈、坚实等，真空腔各部分有连接阀，用来连接各抽气泵浦。

 

    三、真空镀膜-辅助抽气系统

 

    真空镀膜机的辅助抽气系此排气系统采用“罗茨泵＋低温冷阱+扩散泵+机械泵＋polycold”组成 ，排气流程为：机械泵先将真空腔抽至小于2.0*10-2PA左右的低真空状态，为扩散泵后继抽真空提供前提，之后当扩散泵抽真空腔的时候，机械泵又配合油扩散泵组成串联，以这样的去方式完成抽气动作。

 

    排气系统为镀膜机真空系统的重要部分，主要有由、油扩散泵增压泵、机械泵三大部分组成。 机械泵：也叫前级泵，机械泵是应用最广泛的一种低真空泵，它是用油来保持密封效果并依靠机械的方法不断的改变泵内吸气空腔的体积，使被抽容器内气体的体积不断膨胀从而获得真空，机械泵有很多种，常用的有滑阀式、定片式、活塞往复式和旋片式四种类型。

 

    真空镀膜机工作原理，大概就说到这里，但是因为真空镀膜机太过复杂，有不少部件组成，其中一种部件就有许多类型，所以他们的工作原理相对复杂。