镀膜机电子枪工作原理,因为电子枪是产生电子束的部件,由阴极,栅极和阳极组成,加速电压采用负高压,阴极和栅极处于相同的负电位,阳极接地电位,阴极由交流电流供电加热,发射热电子,电子受栅抄极电位的影响,所以在阳极加速电压下形成汇聚的电子束,在磁场作用下电子束得到进一步聚焦并偏转270°射入装有被镀zd膜料的坩埚中,其动能变成热能使呗镀材料蒸发沉积于基片上形成薄膜,今天我们介绍两种电子枪的工作原理。
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一、皮尔斯型电子枪工作原理
目前世界各国电子直线加速器的电子枪,多数采用的是皮尔斯型电子枪,这种电子枪的光学系统主镀膜机电子枪工作原理要包括阴极、阳极和聚焦极,有的加有栅控极,通常聚焦极的电位等于或接近阴极电位,阳极为地电位,阴极上加有负脉冲高压。阴极和阳极构成一个二极管,阴极受热子(灯丝)加热烘烤,热子由交流电源供电,当阴极加热到一定温度时,即有热电子发射,在阴阳极间加速电压的作用下,形成电子束飞向阳极。电子束受聚焦极作用朝着阳极孔飞行,最终穿过阳极孔进入加速系统。
二、栅控枪工作原理
随着加速管的改进,采用低压注入的技术成为可能;同时现在的医用加速器,根据放射治疗的需要,要求改变注电流达到既能出X射线,亦能出电子线的要求。这样的电子枪阳极电压可降到7-15KV,注流在200—1000ma的范围内变化。在出电子线时注流能逐渐降到很低的数值(医用加速器工作在X线治疗和电子线治疗时对束流强度的要求差别甚大,相差百倍以上)。低压注入技术的解决,为栅控枪的使用打下基础。低压枪可以大大缩小电子枪的尺寸,减低电极间绝缘瓷件耐压的要求,减低了离子回轰阴极的能量,更重要的是电源的体积,重量以及效率可以大大提高。对于栅控枪的设计,人们一般是在二极枪设计的基础上,增加一个控制极(栅极)。当栅极对阴极加上一个不大的负电压(截止偏压一Egc)时,使阴极发射截止;这相当于在脉冲的间隙期停止放射,而脉冲的持续期控制极对阴极加上零或一个不大的正电压,使阴极发射电子,通过对这个正电压的调整,达到对电子注流的控制。而阳极对阴极的电压,可以始终加上一个稳定的直流高压。显然直流电源电压的幅度稳定,比高压脉冲调制器的高压脉冲幅度的稳定容易得多。因而也减轻了对电源设计上的压力。人们加设的控制极,通常有三种形式,它们的结构形式在第一部分已经给出,它们的工作方式,现分别简述如下:第一种孔栅枪:它是在结构设计上将二极枪的聚焦极与阴极绝缘开来,适当修改聚焦极的设计,使其能在相对阴极而加的偏压(-Ego)的绝对值尽量低时情况下,实现电子注的截止。一般经验是,当P<0.5微朴,枪压缩比较小时,|—Ego|/Va可以在低于25%的情况下,实现孔栅枪设计。第二种针栅枪:它是在阴极的中心安置一个与阴极绝缘而垂直于阴极面的小针,以此针为控制极,它的截止电压,大致可以做到或稍低于孔栅枪的水平。但对针栅枪而言,其阴极、针栅极在结构设计上较复杂,目前国内较少使用,而俄罗斯在这方面技术较成熟,他们可以在针栅上复上一层反发射物质,以降低栅发射。不过对于存在较强离子反轰的加速管采用此种控制极是否可行,有待实践证明。第三种网栅枪,它是在二极枪中距阴极1%—3%的等位面上设置一栅网,当栅网对阴极加上相当于网在平面的电位时,并不大改变原二极枪的电位分布。这种栅的截止偏压可以设计得很低。这将有利于栅控电源的制作。
镀膜机电子枪工作原理通过皮尔斯型电子枪和栅控枪工作原理介绍,相信大家已经有一定的了解。现在电子枪的应用很多,对生活起居帮助很大。
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